بدون این محصول آلمانی، اینترنت، اپل و انویدیا تعطیل می‌شوند

در ماشین‌های پیشرفته‌ی لیتوگرافی، نور EUV در یک محفظه‌ی خلأ حرکت می‌کند و از میان زنجیره‌ای از آینه‌های منحنی رد می‌شود. هر آینه، مسیر نور را کمی تغییر می‌دهد و آن را متمرکزتر می‌کند تا در نهایت، الگوی مدار دقیقاً روی سطح ویفر بنشیند. کل این مسیر باید بدون هوا انجام شود، چون حتی مولکول‌های هوا هم می‌توانند EUV را تضعیف کنند.

چالش اصلی اما سطح آینه‌هاست. اگر سطح آینه حتی در حد چند اتم ناهموار باشد، تصویر نهایی دچار خطا می‌شود. در مقیاس نانومتر، نقص‌هایی که برای چشم انسان کاملاً نامرئی‌اند، می‌توانند کل تراشه را از کار بیندازند. به همین دلیل، این آینه‌ها باید به سطحی برسند که در مهندسی، به آن «فراهمواری افراطی» می‌گویند.

اگر کوچک‌ترین نقصی روی این آینه باشد، تصویر مدار درست نقش نمی‌بندد و تراشه کار نخواهد کرد. زایس عملاً صاف‌ترین سطح روی کره زمین را خلق کرده است.

به‌علاوه این آینه‌ها باید شکل منحنی بسیار دقیقی هم داشته باشند تا مسیر نور را مرحله‌به‌مرحله اصلاح کنند. هر انحنا بادقت محاسبه می‌شود و هر لایه‌ی پوششی با ضخامت کنترل‌شده روی سطح قرار می‌گیرد تا بازتاب به بیشترین مقدار ممکن برسد.

ولی صاف بودن به‌تنهایی کافی نیست. این آینه‌ها باید در حین کار، زیر بمباران نوری شدید، ثابت بمانند و نور را با دقتی باورنکردنی به نقطه بعدی پرتاب کنند. پایداری مکانیکی این سیستم باید مطلق باشد.